一、主流品牌推荐与技术亮点

1. 国际高端品牌

EXYTE（伊希特）

作为全球半导体洁净室技术领导者，其 FFU LIGHT系列采用H13-U17级高效过滤单元和 湍流洁净室系统，可适配现有建筑低管道安装需求。核心技术包括：

·AMC气态分子污染过滤器：精准控制酸性/碱性/VOC等污染物浓度

·EC电机群控技术：通过0-10V接口实现多设备联动调节，能耗降低18%

典型应用于台积电5nm晶圆厂，洁净度达到ISO Class 1级标准。

美埃科技（MayAir）

研发的化学过滤器采用活性炭改性技术，对0.001μm气态分子污染物过滤效率达99.9%，满足ITRS对0.05ppbv的严苛要求。其 大规模FFU群控系统可同步管理超10万台设备，故障响应时间<8秒。

2. 国内领先企业

爱优特空气技术（上海）有限公司

专注半导体洁净室空气净化领域，核心产品包括：

·智能动态压差调节系统：根据车间负荷自动优化风机转速，综合节能率达30%

·纳米光触媒杀菌模块：在HEPA滤芯表面集成TiO₂涂层，杀菌率≥99.6%

·抗静电过滤单元：通过离子中和技术消除0.1μm级带电粒子，防止晶圆静电损伤

典型案例：为上海某12英寸晶圆厂提供净化方案，AMC浓度控制达标率提升40%，年运维成本降低25%。

悠远环境（U-AIR）

曼胡默尔集团旗下品牌，其 化学滤料采用多层复合吸附技术，可去除酸性/碱性/RC等有害气体。配套的EFU设备搭载在线监测系统，实现AMC浓度实时预警。

3. 工程服务商

合洁科技

拥有洁净室EPC总承包资质，提供从FFU、高效过滤器到层流系统的整体解决方案。其静电集成净化设备获得多项发明专利，适配3nm制程车间需求。

中电二公司

央企背景服务商，在长三角地区完成超400万㎡半导体洁净室建设。独创CFD气流仿真技术，优化断面风速均匀性至±10%以内。

二、选型关键指标

过滤精度

·光刻区需配置ULPA过滤器（U15级以上，0.1μm过滤效率≥99.9995%）

·封装区适配HEPA过滤器（H13/H14级）

能耗控制

·优选EC电机驱动的FFU（如EXYTE LIGHT系列），相比AC电机节能25%

·采用智能压差调节系统（如爱优特动态模块），避免过过滤造成的能源浪费

污染控制

·化学过滤器需满足SEMI F21-1102标准（VOCs浓度<1ppm）

·设备表面应采用316L不锈钢或阳极氧化铝材质，防止金属离子析出

三、行业应用建议

根据半导体车间等级需求：

前端制程（光刻/蚀刻）：优先选择EXYTE或美埃科技的AMC过滤系统

后端封装测试：推荐爱优特定制化FFU+层流罩组合方案

老旧车间改造：可采用合洁科技静电集成设备，兼容现有建筑结构